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FA-6在硅片清洗劑中對硅粉清洗的應用
硅片切割后的表面粘附嚴重的污垢，包括油脂、硅粉和金屬離子等，硅片清洗劑目的就在于清除硅片表面所有的微粒、金屬離子及有機物等沾污。本文通過從對臟污硅片的潤濕性以及超聲波清洗測試，認為FA-6 BP-8024非離子表面活性劑對硅片具有優異的潤濕性及清洗力，并具有較高的性價比，可用于硅片清洗中提高清洗劑的清洗力。
1.表活在硅片表面的潤濕性測試
以非離子表面活性劑FA-6和NP-10作實驗樣品，配制0.1%濃度的表面活性劑水溶液，在有污漬的硅片表面各滴加1滴表活水溶液，觀察其在硅片表面的擴散范圍及擴散濃度。由圖1明顯看出，FA-6滴加在硅片表面后快速擴散至較大面積，而NP-10在硅片表面擴散范圍很小，潤濕性較差。因此，FA-6在硅片表面的潤濕性明顯優于NP-10。
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圖 1 硅片表面潤濕性對比圖
2.硅片清洗測試
配制相同濃度的NP-10及FA-6的水溶液，與硅片清洗的堿劑一起復配清洗。清洗劑超聲波3 min后，用純水漂洗干凈后風干，測試結果如圖2所示。復配FA-6的清洗劑可將硅片表面的硅粉、油污等完全清洗干凈，而復配NP-10的還殘留較多硅粉沒有去除。
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圖 2?硅片清洗測試結果
3.總結
FA-6 BP-8024非離子表活復配于硅片清洗劑中可明顯提高清洗劑的清洗力，加快硅片的清洗速率，不損傷硅片，并具有低泡、環保特點。
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@ 盟友9857134062
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